无碱玻璃基板：OA-11

最适用于平板显示器（FPD）的玻璃

适用于轻薄化与高精细化显示器的基板玻璃。由于因变形和重力产生的挠曲较小，即使基板很薄也易于使用，并且在高温工艺中具有优异的尺寸稳定性，是面向下一代显示器的基板玻璃。

应用

  • 液晶显示器
  • OLED显示器
photo of LCD/OLED display

特点

  • 表面平滑性
    即使未研磨也具有高表面平滑性。
  • 无碱玻璃
    碱性氧化物含量在0.1%以下，不会损害非晶硅(a-Si）)或多晶硅的薄膜特性。
  • 热尺寸稳定性
    由于玻璃的应变点高且热膨胀系数低，因此在成膜工艺及TFT制造工艺中表现出更好的热尺寸稳定性。
  • 化学表面稳定性
    对半导体工艺及TFT制造工艺中使用的药液具有化学稳定性，不会发生白浊，能够保持平滑的表面。
  • 绿色玻璃
    不含有As、Sb等环境负荷物质，对环境友好。

规格

热收缩率

透过率

特性

特性/Glass code OA-11
密度 ×103kg/m3 2.52
热膨胀系数 30～380℃ ×10-7/K 37
应变点 ℃ 685
杨氏模量 GPa 78
泊松比 0.2
维氏硬度 Hv 　 620
体积电阻率 Logρ 350℃ Ω・cm 13.0
介电常数 1MHz, 25℃ 　 5.6
tanδ 1MHz, 25℃ 　 0.001
透过率 λ=550nm % 92
折射率（nd） 587.6nm 　 1.53
化学稳定性 10%HCl (80℃-60min) 表面无变质
63BHF (20℃-3min) 表面无变质
碱金属氧化物含量 wt% 0.1以下
As、Sb含有量 wt% 不含有（0.1以下）

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