CSP用ガラスウエハー
低膨張・アルカリフリー・研磨フリーガラスウエハー
低膨張・アルカリフリー・研磨フリーのガラスウエハーは、CMOSイメージセンサーのWLCSP(Wafer Level Chip Size Package)のカバーガラスに用いられます。
特長
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アルカリフリー・研磨フリー
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As・Sbフリーで環境にやさしい
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優れた面品位
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各種薄膜コート対応可能
特性
特性/ガラスコード | ABC-1 | ||
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熱膨張係数 | 30~380℃ | ×10-7/K | 37 |
密度 | ×103kg/m3 | 2.52 | |
ヤング率 | GPa | 78 | |
ポアソン比 | 0.2 | ||
体積抵抗率 Log ρ | 350℃ | Ω・cm | 13.0 |
誘電率 | 1MHz, RT | 5.6 | |
tan δ | 1MHz, RT | 0.001 | |
屈折率(nd) | 587.6nm | % | 1.53 |
透過率 | λ=550nm | % | 92 |