OA-10G(無アルカリガラス基板)
無アルカリガラス基板であるOA-10Gは、オーバーフロー法で成形された板ガラスで表面が非常に平滑です。環境負荷物質であるAs、Sbを含有しない環境に配慮したガラスで、液晶ディスプレイや有機ELディスプレイの基板として幅広く使用されています。製品情報 PDFダウンロード
製品詳細
特長
- 表面平滑性
オーバーフロー法で成形された板ガラスですので、表面が非常に平滑です。 - 無アルカリガラス
アルカリ酸化物は0.1%以下です。アモルファス・シリコンや多結晶シリコンの薄膜特性を損ないません。 - 熱的寸法安定性
成膜工程やTFT形成プロセスなどで高い熱的寸法安定性を示します。これはガラスの歪点が高く、熱膨張係数が低いためです。 - 化学的表面安定性
半導体プロセス、TFT形成プロセスで用いられる薬液に対して安定です。白濁することなく、平滑な表面を保ちます。 - グリーンガラス
環境負荷化学物質であるAs、Sbを含有しない、環境に配慮したガラスです。