無アルカリガラス基板：OA-11
薄型パネルディスプレイ（FPD）に最適なガラス
ディスプレイの薄型化と高精細化に適した基板ガラスです。変形や重力によるたわみが小さいため、基板が薄くても使いやすく、高温プロセスでの寸法安定性にも優れた次世代ディスプレイ用基板ガラスです。
アプリケーション
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液晶ディスプレイ
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有機ELディスプレイ
特長
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表面平滑性
無研磨でも高い表面平滑性を有しています。 -
無アルカリガラス
アルカリ酸化物の含有量は0.1%以下です。アモルファスシリコンや多結晶シリコンの薄膜特性を損ないません。 -
熱的寸法安定性
ガラスの歪点が高く、熱膨張係数が低いため、成膜工程やTFT形成プロセスにおいて高い熱的寸法安定性を示します。 -
化学的表面安定性
半導体プロセス、TFT形成プロセスで用いられる薬液に対して安定です。白濁することなく、平滑な表面を保ちます。 -
グリーンガラス
環境負荷化学物質であるAs、Sbを含有しない、環境に配慮したガラスです。
仕様
熱収縮率
透過率
特性
| 特性 / ガラスコード | OA-11 | ||
|---|---|---|---|
| 密度 | ×103kg/m3 | 2.52 | |
| 熱膨張係数 | 30～380℃ | ×10-7/K | 37 |
| 歪点 | ℃ | 685 | |
| ヤング率 | GPa | 78 | |
| ポアソン比 | 0.2 | ||
| ビッカース硬度 | Hv | 620 | |
| 体積抵抗率 Logρ | 350℃ | Ω・cm | 13.0 |
| 誘電率 | 1MHz, RT | 5.6 | |
| tanδ | 1MHz, RT | 0.001 | |
| 透過率 | λ=550nm | % | 92 |
| 屈折率 (nd) | 587.6nm | 1.53 | |
| 耐薬品性 | 10%HCl (80℃-60min) | 表面変質なし | |
| 63BHF (20℃-3min) | 表面変質なし | ||
| アルカリ酸化物含有量 | wt% | 0.1以下 | |
| As、Sb含有量 | wt% | 非含有（0.1 未満） | |
