OA-11(無アルカリガラス基板)
無アルカリガラス基板であるOA-11は、加速するディスプレイの薄型化と高精細化に適した基板ガラスです。変形や重力たわみが小さいため、基板が薄くても使いやすく、高温プロセスでの寸法安定性にも優れた次世代ディスプレイ用基板ガラスです。製品情報 PDFダウンロード
製品詳細
特長
- 表面平滑性
オーバーフロー法で成形された板ガラスですので、表面が非常に平滑です。 - 無アルカリガラス
アルカリ酸化物は0.1%以下です。アモルファス・シリコンや多結晶シリコンの薄膜特性を損ないません。 - 熱的寸法安定性
成膜工程やTFT形成プロセスなどで高い熱的寸法安定性を示します。これはガラスの歪点が高く、熱膨張係数が低いためです。 - 化学的表面安定性
半導体プロセス、TFT形成プロセスで用いられる薬液に対して安定です。白濁することなく、平滑な表面を保ちます。 - グリーンガラス
環境負荷化学物質であるAs、Sbを含有しない、環境に配慮したガラスです。